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光电所在超精密密珠轴系研究方面取得进展
作者:精制中心 发布时间:2018-09-19 阅读次数:

  高精度回转轴系是诸多精密机械仪器设备,特别是圆度仪、经纬仪、测角仪等测量设备的核心功能单元。随着机械制造进入精密、超精密加工时代,加工设备、检测设备精度也逐步进入亚微米乃至纳米级,对其轴系的旋转精度要求亦是日益提高。 

  密珠轴系回转平台是超精密机械中的一种典型结构,具有不需要气源、精度高、性能稳定等一系列优点,为微光刻技术、精密计量等领域提供了一个能够实现超精密定位、检测和精确运动的载物平台。但密珠轴系要达到纳米级的精度,需要解决轴系的超精密加工、精密装调、润滑等难题。 

  随着社会与科技的发展以及研究所对纳米级轴系的需求,光电所精密机械制造中心成立了精密轴系加工团队,聘请退休的高级技师人员进行实践指导,在老一辈科研人员的带领下,工艺技术人员从密珠轴系的工作原理出发,解决了影响轴系精度的诸多因素,如:空回、爬行、磨损等,并经过反复的实验和分析,解决了超精密内孔和外圆的加工、轴系装调等难题,成功研制出了纳米级密珠轴系,轴系径向跳动和轴向跳动精度稳定在0.09μm 以内,零件内孔圆度稳定在0.08μm   

  纳米级密珠轴系可应用于高精度检测设备,进一步提高检测精度及测量不确定性;应用于航空航天,替代高精度进口轴承提供精密传动;应用于微光刻领域,实现超精密旋转、定位与传动;应用于其它高精度实验平台,提供超精密旋转、定位与精确运动,具有良好的现实意义和应用价值。 

密珠轴系旋转平台

  密珠轴系径向跳动误差 

密珠轴系轴承套

 

  密珠轴系轴承套内孔圆度 

  截圆圆度 

 

 

 
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